Standardowy materiał odniesienia NIST Kalibracja wielkości cząstek
NIST, Standardowy Materiał Odniesienia, polistyrenowe mikrokulki i kulki stosowane w Standardach Wafla Kalibracyjnego i Zanieczyszczenia w celu weryfikacji dokładności rozmiaru systemów kontroli płytek KLA i KLA-Tencor.
Opis
NIST SRM, standardy wielkości cząstek, kule PSL, kalibracja wielkości
Standardy wielkości cząstek NIST SRM są znanymi na całym świecie standardami kalibracyjnymi do stosowania w dowolnych aplikacjach, które wymagają standardu wielkości NIST SRM (materiał odniesienia rozmiaru) z niezwykle dokładnym doborem wielkości, wąskimi pikami wielkości i wąskim odchyleniem standardowym. Można je stosować do kalibracji i walidacji różnych urządzeń do wymiarowania cząstek, w tym instrumentów rozpraszających światło, mikroskopów elektronowych i analizatorów różnicy ruchliwości. Są one szczególnie ważne w przypadku kalibracji systemów inspekcji skanujących powierzchnię, które służą do wykrywania i charakteryzowania defektów płytek krzemowych. Dokładne cząstki odniesienia są potrzebne do opracowania i udoskonalenia systemów skanujących w celu uzyskania wysokiej przepustowości, opłacalnej produkcji płytek, która ma kluczowe znaczenie dla miniaturyzacji urządzeń. Cząstki odniesienia można również stosować do dostarczania cząstek monodyspersyjnych (piku pojedynczego rozmiaru) do testowania instrumentów aerozolowych i są one przydatne do badania kinetyki aerozolu i oceny odpowiedzi detektora cząstek.
Certyfikowana wartość średnicy modalnej:
60 nm SRM 1964 mikrokulki polistyrenowe to 60.39 nm, z rozszerzoną niepewnością ± 0.63 nm;
100 nm SRM 1963A mikrokulki polistyrenowe to 101.8 nm, z rozszerzoną niepewnością ± 1.1 nm;
269 nm SRM 1691 mikrokulki polistyrenowe to 269 nm, z rozszerzoną niepewnością ± 4 nm;
895 nm SRM 1690 mikrokulki polistyrenowe mają długość 895 nm, z rozszerzoną niepewnością ± 5 nm.
Pomiary przeprowadzono za pomocą analizy ruchliwości różnicowej i można je prześledzić na długości fali lasera He-Ne w powietrzu 632.807 nm, która została określona w odniesieniu do podstawowego standardu długości.
Mikrosfery z lateksu polistyrenowego, 20-900nm, cząstki lateksu polistyrenowego - Kup teraz
Mikrosfery z lateksu polistyrenowego, 1um-160um, cząstki lateksu polistyrenowego - Kup teraz
Sferyczne średnice są kalibrowane za pomocą wymiarów liniowych obliczonych przez NIST. Zamiast cząstek o nieregularnych kształtach stosuje się kulki, aby zminimalizować reakcję skanerów laserowych wrażliwych na cząstki kształtowe. Standardy są pakowane w postaci wodnych zawiesin w butelkach z kroplomierzem w mililitrach 5 (ml). Stężenia cząstek są zoptymalizowane pod kątem łatwości dyspersji i stabilności koloidalnej. Kulki mają gęstość 1.05 g / cm3 i współczynnik załamania światła 1.59 @ 589 nm, mierzony w stopniach 25.
Każde opakowanie zawiera certyfikat kalibracji i identyfikowalności według NIST, który zawiera opis metody kalibracji i jej niepewności oraz tabelę właściwości chemicznych i fizycznych. Dostępna jest również karta charakterystyki substancji z instrukcjami postępowania i usuwania. Butelki PSL są numerowane w celu zapewnienia wygodnej obsługi technicznej i wsparcia po sprzedaży.
Kulki NIST SRM | 60.4nm, 101.8nm, 269nm i 895nm |
Skład cząstek | Polistyren Lateks, Kulki PSL |
Gęstość cząsteczek | 0.625 g / cm³ |
Współczynnik załamania światła | 1.59 @ 589nm (25 ° C) |
Wielkość butelki | 5 ml |
Data ważności | ≤ 24 miesięcy |
Przyprawy | Zawiera śladowe ilości środka powierzchniowo czynnego |
Sugerowana temperatura przechowywania | 2-8 ° C |
Rozmiar i objętość butelki | Butelka 5ml |
Kule PSL, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm | ||||
Część produktu # |
Średnica nominalna |
Certyfikowany średni szczyt |
Std. Dev & CV |
Zawartość ciał stałych |
AP1690 |
895 nm |
895nm ± 5 nm |
0.7 nm |
0.50% |
AP1691 |
269 nm |
269nm ± 4 nm |
5.3 nm |
0.50% |
AP1963A |
101.8 nm |
101.8nm ± 1.1 nm |
0.55 nm |
0.50% |
AP1964 |
60.4 nm |
60.39nm ± 0.63 nm |
0.31 nm |
0.50% |