[annasta_filters preset_id=1]

Standardowy materiał odniesienia NIST Kalibracja wielkości cząstek

NIST, Standardowy Materiał Odniesienia, polistyrenowe mikrokulki i kulki stosowane w Standardach Wafla Kalibracyjnego i Zanieczyszczenia w celu weryfikacji dokładności rozmiaru systemów kontroli płytek KLA i KLA-Tencor.

Opis Projektu

 

NIST SRM, standardy wielkości cząstek, kule PSL, kalibracja wielkości

Standardy wielkości cząstek NIST SRM są znanymi na całym świecie standardami kalibracyjnymi do stosowania w dowolnych aplikacjach, które wymagają standardu wielkości NIST SRM (materiał odniesienia rozmiaru) z niezwykle dokładnym doborem wielkości, wąskimi pikami wielkości i wąskim odchyleniem standardowym. Można je stosować do kalibracji i walidacji różnych urządzeń do wymiarowania cząstek, w tym instrumentów rozpraszających światło, mikroskopów elektronowych i analizatorów różnicy ruchliwości. Są one szczególnie ważne w przypadku kalibracji systemów inspekcji skanujących powierzchnię, które służą do wykrywania i charakteryzowania defektów płytek krzemowych. Dokładne cząstki odniesienia są potrzebne do opracowania i udoskonalenia systemów skanujących w celu uzyskania wysokiej przepustowości, opłacalnej produkcji płytek, która ma kluczowe znaczenie dla miniaturyzacji urządzeń. Cząstki odniesienia można również stosować do dostarczania cząstek monodyspersyjnych (piku pojedynczego rozmiaru) do testowania instrumentów aerozolowych i są one przydatne do badania kinetyki aerozolu i oceny odpowiedzi detektora cząstek.

Certyfikowana wartość średnicy modalnej:

60 nm SRM 1964 mikrokulki polistyrenowe to 60.39 nm, z rozszerzoną niepewnością ± 0.63 nm;

100 nm SRM 1963A mikrokulki polistyrenowe to 101.8 nm, z rozszerzoną niepewnością ± 1.1 nm;

269 nm SRM 1691 mikrokulki polistyrenowe to 269 nm, z rozszerzoną niepewnością ± 4 nm;

895 nm SRM 1690 mikrokulki polistyrenowe mają długość 895 nm, z rozszerzoną niepewnością ± 5 nm.

Pomiary przeprowadzono za pomocą analizy ruchliwości różnicowej i można je prześledzić na długości fali lasera He-Ne w powietrzu 632.807 nm, która została określona w odniesieniu do podstawowego standardu długości.

Mikrosfery z lateksu polistyrenowego, 20-900nm, cząstki lateksu polistyrenowego Kup teraz

Mikrosfery z lateksu polistyrenowego, 1um-160um, cząstki lateksu polistyrenowego Kup teraz

Sferyczne średnice są kalibrowane za pomocą wymiarów liniowych obliczonych przez NIST. Zamiast cząstek o nieregularnych kształtach stosuje się kulki, aby zminimalizować reakcję skanerów laserowych wrażliwych na cząstki kształtowe. Standardy są pakowane w postaci wodnych zawiesin w butelkach z kroplomierzem w mililitrach 5 (ml). Stężenia cząstek są zoptymalizowane pod kątem łatwości dyspersji i stabilności koloidalnej. Kulki mają gęstość 1.05 g / cm3 i współczynnik załamania światła 1.59 @ 589 nm, mierzony w stopniach 25.

Każde opakowanie zawiera certyfikat kalibracji i identyfikowalności według NIST, który zawiera opis metody kalibracji i jej niepewności oraz tabelę właściwości chemicznych i fizycznych. Dostępna jest również karta charakterystyki substancji z instrukcjami postępowania i usuwania. Butelki PSL są numerowane w celu zapewnienia wygodnej obsługi technicznej i wsparcia po sprzedaży.

Kulki NIST SRM 60.4nm, 101.8nm, 269nm i 895nm
Skład cząstek Polistyren Lateks, Kulki PSL
Gęstość cząsteczek 0.625 g / cm³
Współczynnik załamania światła 1.59 @ 589nm (25 ° C)
Wielkość butelki 5 ml
Data ważności ≤ 24 miesięcy
Przyprawy Zawiera śladowe ilości środka powierzchniowo czynnego
Sugerowana temperatura przechowywania 2-8 ° C
Rozmiar i objętość butelki Butelka 5ml
Kule PSL, NIST SRM, 60.4nm, 101.8nm, 269nm, 895nm

Część produktu #

Średnica nominalna

Certyfikowany średni szczyt

Std. Dev & CV

Zawartość ciał stałych

AP1690   

 895 nm

895nm ± 5 nm

 0.7 nm

0.50%

AP1691   

 269 nm

269nm ± 4 nm

 5.3 nm

0.50%

AP1963A   

 101.8 nm

101.8nm ± 1.1 nm

 0.55 nm

0.50%

AP1964   

 60.4 nm

60.39nm ± 0.63 nm

0.31 nm

0.50%