Applied Physics USA
Polistyrenowe koraliki lateksowe, standardy wielkości cząstek
Applied Physics USA: Kule PSL, Mikrokulki polistyrenowe, Standardy wielkości cząstek
Applied Physics USA dostarcza kulki PSL i kulki polistyrenowe jako wzorce wielkości cząstek do kalibracji przyrządów aerozolowych. Narzędzia do kontroli płytek, takie jak KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2, TopCon, ADE i Hitachi również wymagają kalibracji rozmiaru, którą wykonuje się za pomocą polistyrenowych kulek lateksowych. Kulki PSL, mikrosfery i kulki polistyrenowe są dostarczane w rozmiarach od 20 nm do 10 mikronów w celu kalibracji krzywych odpowiedzi rozmiaru odpowiednich systemów kontroli płytek i laserowych liczników cząstek. Kulki PSL o wielkości od 20 nm do około 5 mikronów są zwykle używane do kalibracji odpowiedzi wielkościowej laserowych liczników cząstek. Mikrosfery polistyrenowe mogą być używane do produkcji kalibracyjnych standardów waflowych i standardów waflowych cząstek, które są używane do kalibracji odpowiedzi wielkościowej narzędzi KLA-Tencor Surfscan i starszych narzędzi Tencor Surfscan
Applied Physics USA
Koraliki styropianowe lateksowe można zamówić pod nr tel Applied Physics przy (719) 428-4042.
Systemy kontroli płytek, określane jako systemy kontroli powierzchni skanujących, SSIS, w szczególności firmy KLA-Tencor i Hitachi, są kalibrowane przy użyciu standardów płytek PSL, które są podstawowymi płytkami krzemowymi osadzonymi z kulkami PSL o określonych rozmiarach i wąskim rozkładzie wielkości. Narzędzia do kontroli płytek służą do kontroli czystości powierzchni płytek 300 mm, 200 mm, 150 mm; osadzony goły krzem lub folia, powierzchnia płytki. SSIS może zidentyfikować położenie X/Y kulek i cząstek PSL, opisać rozmiar każdego defektu, a także podsumować ogólną liczbę cząstek na powierzchni płytki. Systemy kontroli płytek KLA-Tencor, takie jak Tencor 6200, 6420 i KLA-Tencor SP1, KLA-Tencor SP2 i KLA-Tencor SP3, są używane w całym przemyśle półprzewodnikowym do tego zastosowania. Topcon oferuje systemy kontroli płytek z serii 3000, 5000 i 7000. Estek, ADE, Aeronca i Hitachi również dostarczają różne systemy kontroli płytek. Prawie każdy produkowany obecnie SSIS jest w stanie wykrywać cząstki o wielkości 30 nm lub lepszej. Kule PSL są używane do reprezentowania standardów wielkości cząstek na powierzchni płytki. Applied Physics oferuje rozmiary kulek PSL od 20 nm do 160 mikronów do kalibracji rozmiaru, testów filtra HEPA itp. Kulki PSL można zamówić dzwoniąc Applied Physics przy (719) 428-4042.
Kulki PSL są używane z systemami osadzania wafli PSL w celu wytworzenia standardów wafli PSL, zwanych także standardami wafli cząstek. W obu przypadkach, po wyprodukowaniu PSL Wafer Standard, jest on następnie umieszczany w systemie kontroli płytek i skanowany przez pojedynczy laser SSIS lub podwójny laser SSIS. Rzeczywista odpowiedź rozmiaru PSL jest porównywana z odpowiedzią rozmiaru SSIS. Jeśli dwa piki się nie zgadzają, należy skalibrować SSIS. Wstępnie zmieszane kule PSL o wysokim stężeniu są przeznaczone dla systemów 2300XP1, systemów 2300 NPT-1, systemów osadzania płytek 2300NPT-2 i M2300G3.
Kulki PSL, stężenie 1%.
Wstępnie zmieszane kule PSL są dostarczane w butelce 50ml o wielkości monodyspersyjnej (rozkład wielkości 1) i są dostarczane od wielkości od 47nm do 950nm. Ten roztwór PSL wlewa się bezpośrednio do nebulizatora lub naczynia rozpylającego. Wstępne wymieszanie jest wygodnym sposobem zakupu perełek z polistyrenu, ponieważ całe rozcieńczenie zostało wykonane w bardzo jednorodny sposób, bez musów, bez zamieszania, pozwalając użytkownikowi nie poradzić sobie z mieszaniem perełek z polistyrenu za pomocą zlewek, wody DI i tace ultradźwiękowe. Niezmieszany materiał PSL jest dostarczany w butelce 15ml, o wielkości monodyspersyjnej (rozkład wielkości 1), i zwykle w stężeniu 1%. Te kule PSL są dostępne w szerokim zakresie rozmiarów, ale dla naszych celów, od 20nm do 4um. Materiał PSL musi być zmieszany do właściwego rozcieńczenia lub będzie skoncentrowany lub zbyt słaby, aby zapewnić skuteczne wyniki podczas próby osadzania za pomocą jednego z powyższych systemów osadzania płytek PSL. Link do zamgławiaczy do pomieszczeń czystych